适用对象
- 洁净室关键工位
- 产品暴露区域
- 工艺窗口
- 运输与装配区域
CUSTOMER STORY
用户故事
Dr. Ir. L.H.A. Leunissen | ASML, cleanliness project manager 说到：“作为长期合作伙伴，Fastmicro 的整合应用使我们达成了设备缺陷率指标要求。该设备不仅测量精准，更具备操作简便和高通量特性。我们高度认可 Fastmicro 的专业服务，并期待未来通过深度合作进一步拓展设备的功能边界。”
PRODUCT OVERVIEW
产品概述
典型应用
- 洁净室验证
- 关键表面沉降风险评估
- 污染改善闭环
- 关键工作区长期监测
技术特点
- 2 英寸视野
- 紧凑尺寸：300 × 100 × 200 mm（长×宽×高）
- 包含 Fastmicro eBox
- 为什么要测颗粒沉降率？关键应用表面的过程验证，才是判断污染控制效果的核心指标。
TYPICAL APPLICATION
典型应用
洁净室与关键工作区监测场景
与高真空监测方向形成互补
PRODUCT PARAMETER
产品参数
| 总体指标 | |
|---|---|
| 监测对象 | 关键表面颗粒沉降率 |
| 适用场景 | 洁净室、关键工位、产品暴露区域 |
| 监测方向 | 颗粒沉降率监测 |
| 产品定位 | 环境落尘颗粒实时监控仪 |
DOWNLOAD CENTER
下载中心
联系专家，获取专属解决方案
如果您希望获取更多产品信息及应用资料，请填写以下信息。我们将第一时间与您联系，为您提供专业的技术支持与解决方案。